東京エレクトロンは16日、ベルギーの半導体国際研究機関ｉｍｅｃと、戦略的パートナーシップを延長することで合意したと発表した。新たな提携期間は５年間。次世代パターニングや高度なロジックデバイスのプロセス、次世代メモリーの開発、３次元実装などの共同研究を進め、２ナノメートル世代以降の半導体の開発を目指す