化学大手ＢＡＳＦは、台湾の桃園県観音郷に設置した化学機械研磨（ＣＭＰ）製品の新工場を近く稼働する。台湾現地法人の台湾巴斯夫が27日発表した。半導体メーカーに研磨剤のＣＭＰバリア・スラリーとＳＴＩスラリーを供給する。将来的には、同県龍潭郷にある既存のＣＭＰスラリー工場と生産能力を統合する計画だ。 ＣＭ