東京エレクトロン（本社：東京都港区）と半導体機器で世界最大手のＡＳＭＬホールディング（オランダ）は11月30日、半導体リソグラフィの最先端分野である極紫外線（ＥＵＶ）技術と液浸ＡｒＦ技術の共同開発を推進することで合意したと発表した。 両社はかねて両技術分野で共同開発を行ってきたが、顧客の需要増に応え