産業ガス大手のエア・リキードは16日、ベルギーの総合化学大手ソルベイとフッ素ガスを用いた洗浄装置の設置・運営を行う合弁事業を立ち上げることで合意したと発表した。急成長する電機産業における事業拡大を図る。 この装置は、フラットパネルディスプレイや太陽電池向け薄膜シリコンなどの洗浄に用いられる。フッ素ガ