半導体機器大手の東京エレクトロン（本社：東京都港区）は12日、ナノ・エレクトロニクスの研究を手掛けるベルギーのｉｍｅｃと、誘導自己組織化（ＤＳＡ）技術の共同開発を加速すると発表した。 東京エレクトロンとｉｍｅｃは、過去２年にわたり共同でＤＳＡ技術の評価を実施した結果、20ナノメーター台以下の微細パタ