台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）は５日、極紫外線（ＥＵＶ）露光装置と18インチウエハー製造用の機器開発を加速するため、半導体機器で世界最大手のＡＳＭＬホールディング（オランダ）に11億1,400万ユーロを出資すると発表した。ＡＳＭＬの出資要請に応じた半導体メーカーは、米インテルに続き２社目となる。 ＴＳ