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伊サエス、中国社からガス精製装置受注

ガス精製装置の製造を手掛けるサエス(SAES)・ピュアガスは、産業ガス生産の福建久策気体(福建省福州市)から、パラジウム水素精製装置「メガトール」を受注したと発表した。メガトールは、同市の半導体メーカー、福州福順半導体製造廠で超高純度水素ガスの生産に使われる。業界専門サイト「IC設計と製造」が伝えた

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