ウシオ電機（東京都千代田区）は９月30日、ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）向けの一括投影露光装置「ＵＸ４」をドイツの研究機関ＣｉＳから受注したと発表した。欧州の全額出資子会社ウシオ・ヨーロッパを通じ、11月に納入する。 露光装置はプリンターのヘッド部分や各種センサーなどに幅広く使われる。「ＵＸ４」は