半導体機器大手の東京エレクトロン（東京都港区）は20日、ナノ・エレクトロニクスの研究を手掛けるベルギーのｉｍｅｃと共同で、銅配線の信頼性向上に向けたパターニングスキームの電気的優位性を実証したと発表した。 両社は今回、直接エッチングする技法を採用。これにより従来のダマシン法で課題となっていた配線抵抗