半導体機器で世界最大手のＡＳＭＬホールディング（オランダ）は３日、独光学機器大手カールツァイスの半導体製造技術部門カールツァイスＳＭＴの株式24.9％を取得することで合意したと発表した。取引額は10億ユーロ。新型極紫外線（ＥＵＶ）を採用した次世代露光装置の開発に共同で取り組む。 両社はかねて露光装置