日立ハイテクノロジーズは30日、原子層推積（ＡＬＤ）生膜装置を手掛けるフィンランドのピコサン（Picosun）と、プラズマを利用したＡＬＤ装置の共同開発を行うと発表した。両社の強みを生かし、より高性能な半導体デバイスの製造を可能にする装置の開発を目指す。 日立ハイテクのプラズマ技術とピコサンのＡＬＤ