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ニコン、露光装置の特許侵害でASMLなど提訴

ニコンは24日、半導体機器で世界最大手のASMLホールディング(オランダ)と独光学機器大手カールツァイスによる特許侵害行為の停止を求め、オランダ、ドイツ、日本で訴訟手続きを開始したと発表した。半導体の製造に用いられるASMLの露光装置で、ニコンの特許が無断で使用されていると主張している。 ニコンは、

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