コンプレッサーを主力とする産業機械大手アトラスコプコ（スウェーデン）は27日、半導体製造などの自動化ソリューションを手掛ける米ブルックスオートメーションの極低温製品事業を買収すると発表した。取引額は６億5,700万ドル。真空技術に関するポートフォリオを拡大する狙い。 ブルックスオートメーションの極低