三井化学は５月31日、半導体機器で世界最大手のＡＳＭＬホールディング（オランダ）と、極紫外（ＥＵＶ）ペリクル事業のライセンス契約を締結したと発表した。山口県に有する岩国大竹工場内に生産設備を新設し、世界に先駆けてＥＵＶペリクルを商業化する。 今回の契約に基づき、三井化学はＡＳＭＬからＥＵＶペリクルの