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三菱ケミカル、独で半導体洗浄事業を拡大へ

三菱ケミカルは1日、ドイツのグループ会社クリーンパート・ドレスデンの半導体精密洗浄の事業拡大のため、洗浄能力の増強を行うと発表した。投資額は約1,000万ユーロ。世界的な半導体需要への対応が狙い。 この投資で、クリーンパートの敷地内にクリーンルーム棟を新設。最新技術を用いた洗浄設備や洗浄工程で廃棄物

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