半導体機器で欧州最大手のＡＳＭＬホールディング（オランダ）が取り組む先進リソグラフィー装置の開発に、進展があったもようだ。実用化されれば、より小型で高速の新世代半導体チップの製造に用いられる。ロイター通信が２月28日伝えた。 リソグラフィーは、ウエハーに感光性樹脂を塗布して光を照射することにより、回