半導体製造装置で欧州最大手のＡＳＭＬホールディング（オランダ）は３日、ベルギーの半導体国際研究機関ｉｍｅｃと共同で、オランダ南部フェルトホーフェン（Veldhoven）に先進リソグラフィー技術の実験施設を開設したと発表した。世界の半導体チップメーカーなどが、ＡＳＭＬが開発した高開口数（ＮＡ）極端紫外