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JSR、ベルギー研究機関と半導体材料で合弁

合成ゴムや半導体材料を手掛けるJSR(東京都港区)は12日、ナノエレクトロニクスの研究を手掛けるimec(ベルギー)と半導体産業向けの極端紫外線(EUV)リソグラフィー材料のの製造・品質管理サービスで提携することで合意したと発表した。これに基づき、JSRが過半出資する合弁会社を設立する方針。 EUV

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