半導体機器で世界最大手のＡＳＭＬホールディングは24日、最新の極紫外線（ＥＵＶ）露光装置をファウンドリー（半導体の受託製造）世界最大手の台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）から受注したと発表した。来年に２台を出荷する。 ＥＵＶ露光はＥＵＶ波長を用い、半導体の微細加工に欠かせない先端の露光技術。ＡＳＭＬの最新